Tabella cava à semiconduttoî rotativi

Quæ a l’é a töa de semiconduttoî rotativi cavi?

Unna töa à semiconduttoî rotativi cava a l’é unna ciattaforma de poxiçionamento rotativo d’ultrapreçixon ch’a l’à un foro çentrale, progettou appoxitamente pe-a manipolaçion, l’ispeçion e l’apparecchiaçion de lavoraçion di wafer inta produçion de semiconduttoî inte stansie nette. O çentro cavo o permette à de linie de veuo, à di cabbi elettrichi ò à di cavi di sensoî òttichi de passâ pe l’asse de rotaçion, permettendo unn’integraçion de partiçelle netta e bassa sensa un routing de cavi esterno ch’o porrieiva introdue unna contaminaçion ò di detriti ligæ à l’usura.

Struttua

A töa a l'intrega unna fase de trasmiscion diretta ò de preçixon à bassa particolata (de spesso à motô de torsion ò armònica) sotta à unna superfiçie de töa de travaggio legia e à basso sgasso, sostegnua da di portæ incroxæ e à rollo d'erta preçixon minima. O foro çentrale o passa conçentricamente atraverso l’unitæ e a töa, con permette a-e linie de sciortia à veuo ò a-i cavi do sensô de wafer de passâ sensa un routing esterno. I codificatoî con unna resoluçion de segondo d’arco sub-pe-o sòlito en integræ pe-o feedback de poxiçionamento à çiclo serrou.

Conscideraçioin in sciâ seleçion

I fattoî ciave comprendan o diametro do foro, a preçixon do poxiçionamento e a repetibilitæ (livello sub-micron/arcosecondo), a compatibilitæ co-a clascificaçion de stansie nette, o tasso de generaçion de partiçelle, e caratteristiche de sciortia de gas di materiali e di lubrificanti, a rigiditæ de torscion, a carrega permiscibile e o tempo de stabilizzaçion. L’ammortizzaçion de vibraçioin e a stabilitæ termica en particolarmente fondamentali perché a deriva termica ò a micro{2}}vibraçion peuan compromette a preçixon de l’allineamento de wafer.

Applicaçioin

E töe de semiconduttoî rotativi cavi vëgnan deuviæ inti preallineatoî de wafer, inti scistemi d’ispeçion e metrologia, inti appægi de ligamme à matrixe e into poxiçionamento de fase de litografia, donde un allineamento rotaçionale ultrapreçiso combinou con un routing de passaggio netto o l’é essençiale pe l’intreghitæ do proçesso.

Conscideraçioin in sce l'installaçion

L'installaçion a dev'avvegnî int'un ambiente de stansia netta controllâ pe prevegnî a contaminaçion. E linie à veuo e elettriche routæ atraverso o forâ an de beseugno de un allevio de tenscion seguo pe schivâ a generaçion de partiçelle da-a flescion di cavi. E superfiçie de montaggio devan ëse livellæ e torçæ con esattessa inte un modello incroxou, e a taratura do codificatô, i livelli de vibraçioin e o sciortimento de partiçelle devan ëse verificæ dòppo l’installaçion primma de l’utilizzaçion pe-a produçion.

Chì Inte sta pagina, s’introduxe a serie de Tabella de Semiconduttoî Rotativi Cavi TMN130,

veddiæ o feuggio de dæti, immagini de produçion,video de test comme segue:
Anche Voî ê benvenui à ammiâ di atri progetti ò à vixitâ a nòstra gallaria de video de Youtube:https://www.youtube.com/@robòticaerta

FAQ:

1. Quæ son e dimenscioin commun de l’apertua cava de töe rotative cava?

Speçificaçioin commun d'apertua: l'apertua cava de ciattaforme rotante cava a va da-i 10mm a-i 600mm, con di modelli speçifichi comme 28mm, 33mm, 62mm, 100mm, 150mm, e di modelli d'apertua ciù grende che razzonzan ciù de 600mm

2. Quæ o l’é l’impatto da dimenscion de l’apertua cava in sciâ prestaçion de töe rotative cave?

L'impatto de l'apertua in scê prestaçioin: ciù grande a l'é l'apertua, ciù debole a rigiditæ da ciattaforma. Unn'avertua tròppo grande a peu portâ à unna druessa de miagia insuffiçiente e à unna tenscion despægia, con redue coscì a capaçitæ de portâ carrega e a prestaçion de curvatua e torscion, con influensâ a preçixon e a stabilitæ operativa. Controllâ streitamente o rappòrto tra l'apertua e a druessa da miagia tanto che se progetta.

3. Quæ o l’é o mateiâ da miagia drento da struttua cava e o l’é rescistente à l’usura-?

Matëiâ da miagia drento e rescistensa à l'usura: o mateiâ da miagia drento o l'é coerente co-o còrpo da ciattaforma, pe commun deuviando lega d'alluminio, ghisa, acciaio in lega, etc. A miagia pe commun a no pòrta direttamente a friçion à erta frequensa, ma se l'é neçessäio pe filetâ di atri cavi ò di cannæ de ventilaçion, pe megioâ a rescistensa à l'usura e a rescistensa a-a corroxon.

4. A struttua cava a sostëgne e fonçioin de filettatua, de cannæ ò de ventilaçion?

Sostëgno fonçionâ: a struttua cava a sostëgne à reo o filettaggio, e cannæ e a ventilaçion. I cavi, i cannæ d'äia, e fibre ottiche, i cannæ de refrigerante e i fasci laser peuan tutti passâ pe-i pertusi cavi, e resòlvan de fæto o problema de l'intrego di cannæ into movimento de rotaçion.

5. Comm’o l’é poscibile garantî a rescistensa strutturale de töe rotative cave con grande apertua?

Mesue pe garantî a rescistensa de struttue con grande apertua: 1 Utilizzâ di mateiæ d'äsâ in lega de ghisa ò de ghisa d'erta rescistensa, 2 Utilizzâ di cuscioin à rollo incroxæ d'erta preçixon pe megioâ a rigiditæ, 3 Controllâ streitamente o rappòrto tra l'apertua e o spessô da miagia barre pe-o stress, 5 Standardizzâ i proçesci de montaggio e schivâ o sorvecarrego e a deviaçion durante o traspòrto